近期，我司聯(lián)合上海光機所精密光學制造與檢測中心通過持續(xù)的技術(shù)攻關(guān)，在“低污染離子束拋光裝備研制及工藝”上取得重要突破。低污染離子束拋光裝備具有加工污染低、去除函數(shù)精度高、收斂效率快、可以針對特定光學指標進行修復(fù)的特點，可有效提升強激光元件的修形效率、修形精度及表面質(zhì)量。  

       離子束拋光裝備是強激光、空間探測、納米光刻等高新技術(shù)領(lǐng)域的核心關(guān)鍵裝備。目前離子束拋光裝備普遍存在修形過程的污染問題，會極大的影響被加工元件的損傷閾值，限制了元件的使用范圍；而且現(xiàn)有離子束裝備修形方式單一，無法對不同的指標需求實現(xiàn)針對性的去除，效率低。  

       在團隊科研人員的努力下：通過真空獲取方式的流場模式分析與控制、低污染離子源結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化以及引進束流預(yù)清洗等技術(shù)，可以有效實現(xiàn)離子束拋光裝備的低污染加工；基于對離子束加工熱效應(yīng)影響去除非線性的特征，提出了變去除函數(shù)模式對非線性過程進行補償，實現(xiàn)了高精度去除函數(shù)pm精度計算算法；結(jié)合實際工藝需求，開發(fā)了針對低頻PV、梯度GRMS和中頻PSD-1等不同參數(shù)的定制化加工算法，可使目標指標快速收斂，極大地提高了加工效率。

       利用自研樣機對樣件的加工全方位驗證了上述系列關(guān)鍵技術(shù)。低污染離子束拋光樣機核心器件國產(chǎn)化率達100%，該設(shè)備的研制成功和工藝技術(shù)的進展可以進一步打破我國在該類加工設(shè)備領(lǐng)域面臨的進口受限的局面。